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華中科大團(tuán)隊(duì)研發(fā)國(guó)內(nèi)首款OPC軟件強(qiáng)勢(shì)助力芯片制造

發(fā)布時(shí)間:2022-12-05 作者:程墨 尚紫荊 來(lái)源:中國(guó)教育新聞網(wǎng)

中國(guó)教育報(bào)-中國(guó)教育新聞網(wǎng)訊(記者 程墨 通訊員 尚紫荊)近日,華中科技大學(xué)機(jī)械學(xué)院劉世元教授團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出國(guó)內(nèi)首款完全自主可控、可用于芯片制造的OPC軟件,并實(shí)現(xiàn)成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在此方面的空白。

據(jù)劉世元介紹,光刻是芯片制造中最為關(guān)鍵的一種工藝,通過(guò)光刻成像系統(tǒng),將設(shè)計(jì)好的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。隨著芯片尺寸不斷縮小,硅片上的曝光圖形會(huì)產(chǎn)生畸變。在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前,都必須采用一類(lèi)名為OPC(光學(xué)臨近校正)的算法軟件進(jìn)行優(yōu)化。沒(méi)有OPC,所有IC制造廠商將失去將芯片設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)化為芯片產(chǎn)品的能力。目前,全球OPC工具軟件市場(chǎng)完全由Synopsys、Mentor、ASML—Brion等3家美國(guó)公司占領(lǐng)。

“從基礎(chǔ)研究到產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用,我們團(tuán)隊(duì)整整走了十年。十年磨一劍,就是要解決芯片從設(shè)計(jì)到制造的卡脖子問(wèn)題。下一步,我們將加快產(chǎn)品推廣步伐,加快進(jìn)入國(guó)內(nèi)外芯片制造廠商市場(chǎng),力爭(zhēng)成為全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈中重要的一環(huán)。”劉世元說(shuō)。

據(jù)悉,劉世元是華中科技大學(xué)集成電路測(cè)量裝備研究中心主任,同時(shí)也是光谷實(shí)驗(yàn)室集成電路測(cè)量檢測(cè)技術(shù)創(chuàng)新中心主任。他早年師從華中理工大學(xué)前校長(zhǎng)、著名機(jī)械學(xué)家楊叔子院士,于1998年獲工學(xué)博士學(xué)位。

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