中國教育報-中國教育新聞網訊（記者 阿妮爾）近日，河海大學蘇州研究院仿生機器人技術團隊與企業緊密合作，研發“真空環境超潔凈晶圓傳送機械臂”，并在半導體制造領域實現重要應用，突破了我國半導體設備制造的“卡脖子”問題。

真空環境超潔凈晶圓傳送機械臂被稱為半導體晶圓生產線的“神經中樞”，廣泛應用于光刻機、刻蝕機等關鍵設備，其性能直接決定芯片制造的精度與效率。然而，該類設備長期被日美企業壟斷，且被列入禁運產品目錄，嚴重影響產業鏈安全。“半導體產業要突破，關鍵設備的‘自主可控’是必由之路。”河海大學教授、團隊負責人徐林森介紹說，“成果研發過程采用產學研結合方式開展，以企業為主體，我們研究團隊與北京航空航天大學等優勢單位聯合，發揮各方優勢開展關鍵技術攻關。”

機械系統采用集成化驅動與磁流體密封技術，解決了真空環境下的潔凈度控制難題；基于國產操作系統構建的實時控制系統，實現納秒級響應精度；創新研發的誤差補償算法，將機械臂重復定位精度控制在±0.05mm，水平方向振動降至0.2g，各項指標均達到國際先進水平……目前，歷經多輪技術迭代，該成果已實現多項關鍵突破。

“這項技術的產業化不僅提升了企業的研發與管理水平，更推動集成電路裝備與機器人、智能制造技術的深度融合。”徐林森說，該成果將加速集成電路裝備國產化進程，助力培育產業創新新生態，為我國集成電路產業鏈自主創新能力提升提供核心支撐。

目前，該機械臂已成功導入多家行業標桿企業，在薄膜沉積、刻蝕等關鍵制程中穩定運行，設備工藝適配性獲客戶高度認可，累計實現銷售收入約1300萬元。未來，團隊將聚焦5G通信、人工智能芯片等高端應用領域，提供定制化傳輸解決方案。同時，依托在晶圓傳送機械臂領域的技術積累，創新性開展設備翻新與升級服務，打造“設備銷售+增值服務”的雙輪驅動模式。